一般洁净度在100级到1000级，温湿度控制严格，需要很高的洁净工艺； 由于集成电路工艺生产技术的特殊性，它对生产环境，如洁净度、温度、湿度都有严格的要求，这直接关系到晶圆产品的质量和寿命，必须严格控制在要求范围之 内。在工程设计中，暖通空调专业担负着保证生产区洁净度等级和温度、湿度要求的使命。

洁净室系统采用新风集中处理机组(MAU)+风机过滤单元(FFU)+干式冷盘管(DDC)的方式，其空气处理过程为：循环风经设置在一层的干式冷却盘管冷却后，进入上部送风静压箱，与处理后的新风混合，经FFU加压、过滤后送入生产区。

过滤系统如何选择 
  百级洁净室不同于千级以下洁净室，百级为层流洁净室，一般采用MAU+DDC+FFU形式；即新风机组+干盘管+风机过滤单元形式；
维护结构如何选择
1.百级洁净室墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板，阴角全部选用圆弧连接；百级一般采用二次隔墙及二次吊顶形式做回风技术夹道；
2.地面：百级一般采用架空地板敷设作为回风夹道；方便气流从顶部垂直吹下；’
净化参数
换气次数：1000级≥60次；100级：过滤器满布率不低于80%。
压差：主车间对相邻房间≥10Pa平均风速：00级0.3－0.5m/s；
温度 冬季>16℃；夏季 <26℃；波动±2℃。 
湿度45－65%；噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的10%－30%；照度：不低于350LX；

一般操作流程